动态参数
S820 | |
孔径 [mm] | 20 |
跟踪延时[ms] | 0.14 |
典型速度(1) 标刻速度[m/s] 定位速度 [m/s] 标记速度(2) 好质量[cps] 高质量 [cps] |
2.5 16
560 690 |
阶跃响应(3) 1% 满量程 [ms] 10% 满量程 [ms] |
0.3 0.7 |
(1) 使用焦距，f =160mm (2) 单线条字符，1mm高 (3) 设置为满量程的定位误差范围，1/1000 | |
精度和稳定性
重复精度(RMS) [μrad] | ＜0.4 |
定位分辨率 [Bit] (4) | 20 |
非线性 | ＜0.5 mrad /44°(6) |
温度漂移 中心偏移[μrad / K] 增益 [ppm / K] |
＜10 ＜5 |
长时间漂移 8小时漂移 (预热30分钟后) (5) 中心偏移 [μrad] 增益 [ppm] 24小时漂移（预热3小时后） 中心漂移[μrad] 增益 [ppm] |
＜20 ＜20
＜20 ＜20 |
(1) 基于整个角度范围（例如：定位分辨率11μrad对应角度范围±0.36rad） (5) 恒定的环境温度和负荷 (6) 44°=0.768 rad | |
其他规格
光学特性 典型扫描角 [rad] 增益误差 [mrad] 零位偏差 [mrad] |
±0.35 ＜5 ＜5 |
电源要求 S820 |
±24V DC; 最大电流3A |
接口 | XY2-100 |
国际异物防护等级 | IP 50 |
工作环境温度[℃] | 25±20 |
(所有角度数据皆为光学角度) | |
扩展升级 | |
• 扩展成3轴扫描系统 • 红光聚焦 • 不锈钢机身 | |
光学 | |
• 可选择的镀膜： S820: 355nm，1064nm，10600nm | |
• 可配合不同焦距的场镜获得各种扫描幅面 | |